真空泵名称        代号  关键字意义及拼音字母     真空泵规格及主参数   相应单位
 1 往复真空泵       W     往   wang                 抽气速率             L/S
 2 定片真空泵       D    定片  ding       
 3旋片真空泵       X     旋片  xuan  
 4 滑阀真空泵       H    滑阀  hua
 5罗茨真空泵       ZJ    增压   zeng    机械  ji
 6 余摆线真空泵    YZ   余 摆  yu     真空   zhen
 7溅射真空泵       L     离子  li
 8 单级多旋片真空泵   XD  旋片  xuan  多  duo      进气口径             mm
 9分子泵          F     分子  fen
 10 油扩散真空泵   K  扩散     kuo
 11汞扩散真空泵    KG   扩散  kuo  汞  gon
 12油扩散喷射泵 （油增压泵）  Z     增压    zeng
13  升华泵       S   升华    sheng
14 回选泵（弹道泵） HX  回旋 hui  xuan 
15 复合式离子泵     LF   离子  li 复合式   fu
16锆铝吸气剂泵     GL    锆   gao  铝  lv 
17 制冷机低温泵    DZ    低温    di  制冷  zhi
18 灌注式低温泵    DG    低温     di  灌注    guan
19 分子筛吸泵      IF     吸附    xi   分子   fen       分子筛质量       kg
20水喷射泵        PS     喷射    pen   水 shui
21 空气喷射泵      PQ     喷射  pen  空气  qi            抽气量          kg/h
22蒸汽喷射泵     P       喷射   pen
个别规格真空泵的进气口径相同而抽气速率不等，则可同时标出抽气速率  ，单位 L/S。