真空度／Pa
粒状处理、真空喷丸、真空铸造、真空压铸等
真空回火：39
真空渗碳：133
1．半导体、微电光学器件的反射膜、增透膜、半透膜、有
色镜、滤光片、多层介质膜等
2．电子元件中的硒电真空器件
学、金属材料
15～10-4（电子束管）

用于电子计算机方面，半导体、集成电路、集成光
路，如大规模和超大规模集成电路制造工艺；热退
电子学、电工
微电子、光电子真空
火和生长技术、离子注人、离子抛光、电子束蒸发、、锗整流元件、光电池、电阻、
电容、印刷线路、微型电子器件、薄膜电路、大规模
物理学、电子
12
真空镀膜装置
集成线路等
学、金属学、薄膜
0-
3．机械行业：镀层刀具、工模具、精密轴承、量
学、光学
刃具
4．航天设备固体润滑膜
5．轻工、日用品、玩具
6．建筑、低辐射玻璃、居室装修、汽车、制镜
10
10-4～1）
白炽灯泡、收讯电子管、电子束管、高压电子管、
电子学、物理
103(通
（通信电子管）
13
电真空器件装置
学、金属材料
10-带、长寿命、高可靠电子管
10-6-5（高压电子管）
用于电子计算机方面，半导体、集成电路、集成光
路，如大规模和超大规模集成电路制造工艺；热退
电子学、电工
微电子、光电子真空
火和生长技术、离子注人、离子抛光、电子束蒸发、
14
学、薄膜学、物理
10-6~10-2
装置
溅射、
超高速集成和激光工艺，都需要离子束刻蚀、高频
溅射、分子束外延等真空技术和工艺
铝及铝合金
(1~10-2)
铜及铜合金真空装置的种类从研究实验室到工业部门应用，涉及到物理、化学、生物学、农业、医学、电气、金属等很多科学领域。相应之下真空装置包含在国民经济中诸如电子、半导体、集成电路、冶金、食品、医药、运输、热处理、焊接、铸造、镀膜、检测、离子束、激光、微机电、可控热核反应及航空航天等方面。
表1-1给出了真空装置的分类。
广泛用于宇航、原子能、电子、化工、石油、医疗器
(5x11)
15
真空钎焊真空装置
件、工具制造、汽车制造
金属学、物理学
钛及钛合金
(5x10-3~5x不锈钢
(8x102)、纤维状物料。如谷物、煤粉、烟草、水泥、粉
化学、流体、
1
真空输送装置
4x104~9x10
状食品、水泥浆、矿物料、鱼等
力学
2
真空过滤装置
食糖、烧碱、葡萄糖、药品
化工、轻工
4.9xx104
玻璃、纸板、混凝土预制件、机床夹具、吸尘器、挤
3
真空吸盘装置
物理学
4
奶器、医用电吸引器等
医药行业：维生素A、维生素E、苯乙烯等冶金工
化学、医学、金
4
真空蒸馏装置
1x1004
业：去掉钛、锆、铪中杂质镁和二氧化碳、提纯锂等
属学
化工、医药、食品工业广泛应用：如：合成氟、合成
5
真空浓缩装置
尿素、制盐、制糖；合成洗涤剂、制酸、制碱、乳制品、
化学、医学
1.3x14
~1.3x104
果汁、果酱等续表
序号
名
称
应用范围
沙及学科
真空度／Pa
6
化工
12.4x10
电容器、电缆、变电器、发电机；木材、家具、纸、种
真空浸清装置
子、粮食、食用包装材料、纺织品、渔同、皮革、水泥
电工学、化学、
70-42（白炽灯）
白炽灯泡、收讯电子管、电子束管、高压电子管、
电子学、物理
6x110
食品、物理学
制品、饮道枕木、电线杆等

4．航天设备固体润滑膜
5．轻工、日用品、玩具
6．建筑、低辐射玻璃、居室装修、汽车、制镜
1010-2
10-2（白炽灯）
白炽灯泡、高压电子管、
电子学、物理
10-3(通
（通信电子管）
13
电真空器件装置
学、金属材料
5～4（电子束管）
大功率宽频带、长寿命、高可靠电子管
10高压电子管）
用于电子计算机方面，模集成电路制造工艺；热退
电子学、电工
微电子、光电子真空
火和生长技术、离子注人、离子抛光、电子束蒸发铀、组、铍、钼等
（有时1010-）
真空退火（钢、钛、锆、钼、钨、不锈钢等）、真空淬
硬化1010-2
冶金学、金属工
11
真空热处理装置
火、真空渗碳、真空渗铬、真空脱气、真空离子、氮化

处理、真空铸造、真空压铸等
真空回火：9
真空渗碳：13
1．半导体、微电子学、光学器件、超导材料等领
域。例如：光学器件的反射膜、增透膜、半透膜、有
色镜、滤光片、多层介质膜等
2
12
真空镀膜装置
集成线路等
学、金属学、薄膜
10--
3．机械行业：镀层刀具、工模具、精密轴承、量
学、光学
刃具
4．航天设备固体润滑膜
5．轻工、日用品、玩具
6．建筑、低辐射玻璃、居室装修、汽车、制镜
10-2
10-42（白炽灯）
白炽灯泡、收讯电子管、电子束管、高压电子管、
电子学、物理