真空装置一般是指在真空条件下完成生产制造或工艺处理的真空设备。真空装置除真空系统外，还需要配置各种不同的元器件，以满足完成生产工艺所必需的要求。例如，最常见的真空蒸发镀膜装置，它在真空容器内必须配置蒸发源（或称蒸发舟）、膜材、基片、基片架、基片加热电源等；它是在10-2Pa的真空环境中，将膜材通过蒸发源加热使其蒸发。由于此状态空间气体分子的平均自由程大于真空容器的线型尺寸，蒸气的原子或分子碰撞，故可直撞到达被镀的基片表面上，凝结后形成薄膜。这种镀膜的应用已遍及国民经济的各个领域，仅就在轻工、日用品、玩具等方面，有真空蒸镀铝、制作镜子、包装纸、装饰陶瓷瓷品、玩具、人造宝石、纽扣、雕塑品等，以改善人们的生活需求；又例如，航天科技应用6的各种空间环境模拟设备，以KM6载人航天器空间环境模拟设备为例，由于该设备是供载人飞船、空间站、大型应用卫星作热平衡、热真空试验所用，因此，它除了真空容器和真空抽气机组外，还包括热沉、液氮系统、气氮系统、氦系统、红外热流模拟系统、载人试验系统、总控系统等。