1.泵内的油路不通或者不畅，泵腔内没有保持一定的油量，解决方法就是检查罗茨真空泵油路是否畅通，并加同类型的真空本泵油。


2.轴封供汽中断。汽封压力调整气失灵。汽封系统进水等，而汽封系统进水则视情况斟酌对待，严重时应打闸停机。



3.凝汽器水位高。往往是因为凝结水泵运行不正常或水泵故障，此时应启备用泵，将故障泵停下进行检修，若检查出凝结水硬度大，可以判断凝汽器铜管漏泄导致的，此外凝结水再循环们操作不当也是造成此故障的原因。



4.真空系统不严密。确认方法可用蜡烛或专用的检漏仪器检测各负压管道、阀门以及凝汽器本体，发现泄漏点及时消除。



5.循环水温度过高。罗茨真空泵使用循环水冷却工作水，常因循环水温度过高导致真空泵的抽吸能力下降，效率降低。